2013年9月5日--SEMI 安全、衛生與環保標準中文化改版換新裝!在SEMICON Taiwan 2013 國際半導體展開展之際,SEMI宣佈推出安全、衛生與環保標準中文化2013年更新版本,這是SEMI繼2008年首度推出安全、衛生與環保標準中文化後,再次推出的更新版。而SEMICON Taiwan 2013 國際半導體展期間,SEMI Taiwan舉辦綠色製程技術趨勢論壇及450mm 製程趨勢論壇,來自台積電、三星電子、英特爾、G450C、SUMCO及國立中央大學等產學菁英,共同分享原物料安全與製程節能成果,與揭櫫次世代晶圓製程標準新貌。
SEMI 安全、衛生與環保標準中文化改版換新裝
因應技術發展緊密更新
SEMI自1970年起開始推動產業國際技術標準的制定,提供半導體與平面顯示器產業的元件製造商和設備材料供應商一個交換訊息的機制,共同討論和制定技術規格和影響產業經濟的重要標準,來克服技術挑戰、提升生產力,進而促進產業的整體發展。透過全球18個標準委員會積極運作,SEMI目前已協助產業累積制定了840餘條的技術標準和安全規範。
SEMI安全、衛生與環保標準,已廣為全球半導體與影像顯示器設備製造商廣泛參考使用,太陽能、LED產業亦陸續跟進。眾多設備用戶則將通過該標準驗證列為採購時的必要需求。自2008年完成全球首次SEMI安全、衛生與環保標準中文化後,為因應產業技術標準英文版持續擴增與修正,相關標準的中文化亦與時俱進。透過安全、衛生與環保標準中文化文件的推廣,SEMI希望能夠提升國內半導體與平面顯示器產業相關從業人員對於安全及環境維護的知識,另一方面則希望持續促進設備商與終端使用者的溝通,並進一步協助政府建立一套符合國內高科技產業環境衛生安全的完整法規。
由於半導體晶圓製程即將走入450mm世代,而大尺寸TFT-LCD也邁向10代廠製程,加上SEMI標準於2012年也有大幅度更新,因此推出安全、衛生與環保標準中文化新版的版本。為了促使標準能與產業發展緊密結合,因此標準中文化也須更新改版。而2013版本的標準也將是SEMI未來推動驗證管理的新里程碑
SEMI台灣區總裁曹世綸表示,「我謹代表SEMI Taiwan EHS委員會感謝參與標準中文化更新的所有菁英,包括台灣積體電路、聯華電子、華邦電子、群創光電、友達光電、漢民科技、茂迪、優貝克科技、旺宏電子、晶元光電、聯相光電、東京威力科創、瑞士再保險等等公司,也期許未來有更多希望促進產業發展的產官學研專家,共同參與SEMI的國際技術標準制定工作,為台灣產業發聲!」
綠色製程技術趨勢論壇
分享原物料安全與製程節能成果
隨著全球氣候環境變遷、自然資源消耗殆盡,環保意識逐漸抬頭,深入人心的綠色理念影響消費行為,帶動全球製造業生產技術改革旋風,因此綠色競爭力已經成為企業新的核心競爭優勢。
台積電風管工安環保處處長許芳銘表示,高科技產業關注綠色製程的腳步往往領先於全球其他產業,而由於高科技產業製造出的產品往往深入至每個家庭,因次更不能自外於環保、安全及衛生規範。
人類面臨嚴峻的地球氣候變遷反撲,可能是有人類史以來最嚴重的一段時期。高科技產業也往往被質疑造成許多污染,比方在生產過程中使用有毒化學物質後未經處理即排放。而供應商供應的產品也必須受到管控,因此,許芳銘指出,SEMI S2標準即是供應商的產品能獲台積電青睞前,所必須通過的準則。
許芳銘指出,綠色製程過往關注最多是設備節能的相關議題,而當半導體製程跨越20奈米以下世代,製程中使用的化學品將與過去有很大的差別,因此SEMI越來越重視與化學品相關的標準議題。今年,綠色製程技術趨勢論壇因應此趨勢,邀請台積電、Air Products、Dow、FÄTH Group及Edwards分享原物料安全與製程節能成果。提供低功耗、低碳排半導體真空設備解決方案的Edwards公司認為,設備和材料供應商應與元件製造商協同合作,提供優化的產品和材料,避免不符規範並符合製程需求,更進一步要確保資源使用在正確的地方,從而減少浪費。
高純度化學品解決方案供應商FÄTH Group,以及特用化學品解決方案供應商Dow則表示,SEMI標準是多年來透過SEMI標準小組、SEMI 會員以及眾多專家的共同發展出的豐碩果實,SEMI標準制定嚴謹並具遠見,而這也是透過大家的協同合作,以達到良好的環安衛績效的完美示範!
450mm 製程趨勢論壇
揭櫫次世代晶圓製程標準新貌
隨著2018年450mm尺寸晶圓量產時程逼近,「450mm製程趨勢論壇」深刻剖析台積電、英特爾、三星電子、SUMCO 和全球450mm聯盟(Global 450mm Consortium) 的最新450mm發展計畫,以及國際級半導體設備大廠KLA-Tencor的技術進程。
截至今年五月,SEMI已推出15項與晶圓、載具、承載介面(loadport)、晶圓框架(tape frame)等相關的450mm標準,目前還有10多項正醞釀推出。SEMI於2008年推出第一個與450mm 相關的M74標準以來,便一直致力與全球領先的元件製造商、設備及材料供應商緊密合作。而元件製造商,及設備、材料供應商更是需要標準規範,以利早期設計與發展未來450mm的晶圓運送流程。唯有早期參與並採用SEMI 標準,欲開拓450mm世代商機的台灣半導體公司方能掌握下一個黃金十年的絕佳契機!
SEMI多年來已陸續投入設立包括半導體、FPD、EHS、LED、PV、3D IC、450mm等等標準工作小組,目前正在籌組Taiwan Chemical Group。透過整合產業、政府與學界的力量,SEMI希望能有效促進台灣半導體、平面顯示器、太陽能、LED,以及未來更多新興科技產業的發展,為持續提升台灣在國際間的競爭力盡一份心力!
關於SEMI
SEMI是全球化的產業協會,致力於促進微電子、平面顯示器及太陽能光電等產業供應鏈的整體發展。會員涵括上述產業供應鏈中的製造、設備、材料與服務公司,是改善人類生活品質的核心驅動力。SEMI的服務項目包括:專業展會規劃、產業標準建立、市場研究調查、會員服務、教育訓練課程等。自1970年成立至今,SEMI不斷致力於協助會員公司快速取得市場資訊、提高獲利率、創造新市場、克服技術挑戰,以及促進會員與其客戶、投資者、供應商、政府及全球產業精英的關係。SEMI在全球13個重要微電子生產基地均設有辦公室,包括:新竹、上海、北京、東京、首爾、新加坡、邦加羅爾、布魯塞爾、柏林、格勒諾布爾、莫斯科和聖荷西、華盛頓。更多市場研究與展會訊息請參訪 www.semi.org。