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Infinitesima Metron®3D 300mm系統獲領先 DRAM 製造商導入應用於線上製程控制

本文作者:Infinitesima       點擊: 2025-07-09 16:18
前言:
2025年7月8日--Infinitesima 今日宣布,SK hynix 這家全方位人工智慧 (AI) 記憶體供應商,已採用 Metron®3D 300mm 線上晶圓量測系統,並正式投入量產使用。Metron3D 提供具備次奈米精度的三維 (3D) 製程控制,對於 SK hynix 次世代記憶體元件的製造至關重要。
 
 
在經過一段深入的評估期,將系統應用於多個製程步驟的特性分析後,該系統正式投入量產使用。
DMI(缺陷分析、量測與檢測技術)部門負責人崔永鉉(Young-Hyun Choi)表示:「在先進 DRAM 製程中,奈米級的三維製程控制對於確保高良率變得日益重要。Infinitesima 的 Metron®3D展現了優異的次奈米三維量測能力,並具備符合高產量製造 (HVM) 導入所需的擁有成本。」
 
Metron®3D採用了 Infinitesima 專有的 Rapid Probe Microscope™ (RPM™) 技術,能夠實現 10 倍到 100 倍於一般 AFM 的量測產能。該系統同時具備晶圓、數據與探針的全自動化處理能力,非常適合用於半導體裝置的線上量產製程。此次對這套量測解決方案的投資,也展現了 SK hynix 在電腦記憶體研發與製造上持續維持技術領先的承諾。
 
Infinitesima 總裁兼執行長 Peter Jenkins 表示:「我們非常高興能與 SK hynix 合作;他們的支持與指導促成了我們 Metron®3D 系統的快速認證,並成功導入高產量製造 (HVM)。」
 
關於 Infinitesima
Infinitesima Limited 是一家總部位於英國的先進半導體量測解決方案領導廠商。公司首創將原子力顯微鏡 (AFM) 的三維表面檢測能力、高速雷射驅動,以及干涉測量的精度結合於一體的創新技術,即 RPM™(Rapid Probe Microscope),並擁有廣泛的專利組合保護。
 
隨著半導體製造商對於新一代製程的控制需求日益提高,傳統光學與電子束技術已無法滿足其對高解析三維量測解決方案的需求。為了因應客戶對於線上次奈米級三維製程控制日益成長的需求,Infinitesima 推出了搭載公司專利 RPM™ 技術的高速量測系統 Metron®3D。欲了解更多資訊,請造訪:www.infinitesima.com
* 1 奈米 (nm) 等於 10⁻⁹ 公尺;單一矽原子的直徑約為 0.2 奈米。
 
關於 SK hynix
SK hynix Inc. 總部位於韓國,是全球頂尖的半導體供應商,提供動態隨機存取記憶體(DRAM)和快閃記憶體(NAND flash)晶片,服務全球眾多知名客戶。公司股票於韓國交易所掛牌交易,全球存託憑證則在盧森堡證券交易所上市。如需更多資訊,請造訪:www.skhynix.com、news.skhynix.com。

 

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