應用材料公司推出Centris™ 蝕刻系統,展開嶄新的智慧具生產力的晶片製造技術

本文作者:admin       點擊: 2010-11-30 00:00
前言:
應用材料公司今日開啟了晶片製造的全新紀元,推出強大的Applied Centris™ AdvantEdge™ Mesa™ 蝕刻系統,這是智慧最高、速度最快的矽蝕刻系統,適用於世界上最先進的記憶體和邏輯晶片的量產製造。Centris系統十分精實,它有8個製程反應室,包含6個蝕刻製程反應室和2個電漿清洗製程反應室。前所未有的先進規格,讓系統每小時都能處理180片晶圓,促使單片晶圓的成本最多可減少30%。持有專利的系統智慧軟體保證每個反應室的每項製程能精確對準,讓每片晶圓皆具埃等級的均勻度,是未來極複雜的晶片設計若要達成高良率不可或缺的關鍵設備。 

應用材料公司副總裁暨蝕刻事業處總經理葉怡利表示:「半導體蝕刻是業界發展最快的市場之一,而新的Centris系統將改變半導體蝕刻的遊戲規則,因為製造先進微晶片的極小電路,仰賴著越來越多關鍵的蝕刻步驟。我們將新的Centris平台,與世界級的AdvantEdge Mesa技術結合所帶來的成果,正好說明我們以客戶為導向的產品創意,是推動應用材料公司朝向多種蝕刻市場應用發展的動力。」 

應用材料Centris AdvantEdge 蝕刻系統也成為綠色製程的開路先鋒。與市場現有的半導體蝕刻系統相比,Centris系統每年基本上所節省的電力、水和天然氣消耗,相等於600,000磅的二氧化碳排放量。Centris系統可以協助半導體廠降低營運成本,並支援永續量產方案。 

應用材料公司在日本時間2010年11月30日早上10點30分(台灣時間早上9點30分)舉辦一場網路直播,討論這項突破性的技術,網址是:www.appliedmaterials.com/events/becauseinnovationmatters。Centris平台是應用材料公司在千葉市舉辦的2010年SEMICON Japan中對外宣佈的重要技術之一。如需詳細資訊,包括多媒體資源,請參訪應用材料公司首頁上的直播:www.appliedmaterials.com/becauseinnovationmatters 。 

應用材料公司是全球前五百大公司之一,專事製造先進的半導體、平面顯示、太陽光電的各項創新性設備、服務及軟體產品。應用材料公司的創新技術可協助諸如智慧型手機、平面電視及太陽能電池更具成本效益,更方便使用。應用材料公司運用今日的創新,成就企業明日的商業應用。查詢應用材料相關訊息,請至 http://www.appliedmaterials.com。

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