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「PLAZMARK」感測片+無機色材,搞定電漿麻煩事

時間:2017-10-18 10:39來源:COMPOTECHAsia 作者:任苙萍 點擊:
觀察5 : 元件型態多元,電漿評估不易
 

圖:「PLAZMARK」色材可用於多種情境的電漿處理
 
對大部分半導體來說,電漿(Plasma) 處理仍是標準製程之一。利用氣體的物理特性或化學沉積,改變材料表面結構、蝕刻、濺鍍或離子佈植(Ion implantation),以提高電子元件的可靠度、穩定度及工作壽命。要評估電漿製程是否到位?傳統方法是量測蝕刻深度或接觸角度,不僅作業耗時、且設備十分昂貴或有欠精準。有鑑於此,Sakura Color Products Corporation推出名為「PLAZMARK」的電漿感測片 (Plasma Indicator),可讓電漿藉由色階變化一目瞭然,提高生產效率。
(責任編輯:jane)
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